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                      熱處理

                       

                      技術參數

                         

                      工作溫度[]

                      500 - 1320

                      500 - 1320

                      最高淬火壓力(絕對值)

                      12

                      1.9

                      工作真空度范圍[mbar]

                         

                      低真空

                      10-1

                      10-1

                      高真空

                      10-4

                      10-5

                      有效工作區(W x L x H) [mm]

                      610 x 910 x 610

                      910 x 1220 x 910

                      最大裝爐量[kg]

                      800

                      1350

                      加熱元件材料

                      石墨

                      隔熱層

                      特殊石墨氈,可選擇覆蓋CFC

                      +不銹鋼

                      機械泵抽氣速率[m3/h]

                      200

                      300

                      羅茨泵抽氣速率[m3/h]

                      500

                      1000

                      機械泵抽氣速率(可選)[m3/h]

                      300

                      300

                      羅茨泵抽氣速率 (可選)[m3/h]

                      1000

                      1000

                      擴散泵抽氣速率(可選)[L/sec]

                      10000

                      10000

                      維持泵抽氣速率(可選)[m3/h]

                      4

                      32

                      控制系統

                         

                      總連接負荷[kVA]

                      190

                      290

                      氣冷風機負荷[kW]

                      115

                      75

                      最小水壓[bar]

                      3.5

                      2.75

                      最大水流量[m3/h]

                      40

                      50

                      溫度均勻性[]

                      正負5度

                      正負5度

                       

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